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PIEZOSYSTEM纳米定位平台
    发布时间: 2024-11-20 10:10    

TRITOR 100XY Z 轴平行运动范围为每轴 100 µm。弯曲导向系统独特的立方体设计可实现零摩擦的出色可用性。三轴压电定位器 TRITOR 100 结合了高刚度和出色的运动直线度,是光纤对准、激光用途和许多其他微定位任务的纳米级高精度定位的理想解决方案。

动态扫描应用是 TRITOR 100 的典型用途。XY Z 方向上的同步运动在使用过程中提供了很大的自由度。所有压电级都可以采用特殊材料制成,用于真空或低温应用等特殊应用。

通孔用于连接定位系统,这对于所有动态应用都很重要。顶板上有多个销孔和螺纹孔,用于安装外部元件。三维压电元件采用可靠的压电堆栈执行器构建。 TRITOR 100 包括非常适合高动态应用的灵活绝缘材料。


PIEZOSYSTEM纳米定位平台

【产品描述】

TRITOR 100的 X、Y 和 Z 轴平行运动范围为每轴 100 µm。弯曲导向系统独特的立方体设计可实现零摩擦的出色可用性。三轴压电定位器 TRITOR 100 结合了高刚度和出色的运动直线度,是光纤对准、激光用途和许多其他微定位任务的纳米级高精度定位的理想解决方案。

动态扫描应用是 TRITOR 100 的典型用途。X、Y 和 Z 方向上的同步运动在使用过程中提供了很大的自由度。所有压电级都可以采用特殊材料制成,用于真空或低温应用等特殊应用。

通孔用于连接定位系统,这对于所有动态应用都很重要。顶板上有多个销孔和螺纹孔,用于安装外部元件。三维压电元件采用可靠的压电堆栈执行器构建。 TRITOR 100 包括非常适合高动态应用的灵活绝缘材料。

 

 

【产品特征】

3D纳米定位

紧凑型设计,配有集成反馈传感

运动范围高达100um

基于FEA优化的平行四边形设计的超精准平移

高分辨率定位

 

【技术参数】

位移轴                X,Y,Z

开环运动              100um

闭环运动              80um

每轴电容量            1.8uF

分辨率                0.2-2nm

重复性                20-30nm

谐振频率              500/550/480Hz

电压范围              130v

线缆长度              1.2米

尺寸                  40x40x34mm

重量                  165g